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Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen

Name: Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen
Brand: Books on Demand
SKU: 01798060
Price: 35.52 PLN
Availability: InStock
Author: Ronald Hellriegel
ISBN: 9783839106938

Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle

Ronald Hellriegel

Język

Niemiecki

Książka Miękka

Kod Libristo: 01798060

Wydawnictwo Books on Demand, listopad 2008

Mit zunehmender Miniaturisierung mikroelektronischer Bauelemente steigen die Anforderungen an reprod... Cały opis

Kod Libristo: 01798060

20 b

35.52 zł

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Mit zunehmender Miniaturisierung mikroelektronischer Bauelemente steigen die Anforderungen an reproduzierbare qualititätskonforme Schichten. Um die zur herstellung notwendigen ALD/PVD/CVD-Schichtabscheideanlagen in einen zuverlässigen Zustand zu versetzen, ist eine regelmäßige Kammerreinigung notwendig.Im vorliegenden Buch wird am Beispiel der Remote Plasma Source (RPS)-Kammerreinigung von TiN-Abscheideanlagen ein systematischer Ansatz zur Untersuchung der relevanten Parameter vorgestellt. Mit den Meßmethoden QMS, FTIR, OES, XPS, Interferometrie werden die Besonderheiten von Fluor/Chlor-Interhalogenmischungen gezeigt und die zugrunde liegenden Mechanismen beschrieben. Eine effektive Methode zur TiN-Kammerreinigung bei niedrigen Temperaturen und niedrigen Drücken wird vorgeschlagen.Erstmalig wurde die Verwendung von molekularem Fluor mit RPS-Plasma als Kammerreinigungsgas untersucht und die Ätz-Effektivität mit der des NF3 verglichen. Die Anwendung von Fluor in Trägergas für Reinigungsprozesse in der Mikroelektronik oder Photovoltaik stellt sich vorteilhaft dar.