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Book synopsis

Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität untersucht. Des Weiteren wurde auf die Problematik der Rauheitsmessung der in ihrer Messlänge begrenzten Mikrostrukturen eingegangen und eine Lösung mittels der spektralen Leistungsdichte erarbeitet.

Book details

• Full title: Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflachenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen
• Author: Stephanie Kißling
• Language: German
• Binding: Paperback
• Number of pages: 130
• EAN: 9783866445482
• ISBN: 3866445482
• ID: 12729959
• Publisher: Karlsruher Institut für Technologie
• Weight: 163 g
• Dimensions: 210 × 148 × 7 mm
• Date of publishing: 14. August 2014

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