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Opis

In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.

Szczegóły książki

Kategoria Książki po niemiecku Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik Physik, Astronomie

• Pełny tytuł: Herstellung dunner metallischer Brucken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
• Autor: Dominik Stöffler
• Język: Niemiecki
• Oprawa: Miękka
• Liczba stron: 114
• EAN: 9783866448438
• ID: 07094448
• Wydawca: Karlsruher Institut Fur Technologie
• Waga: 195 g
• Wymiary: 244 × 170 × 6 mm
• Data wydania: 29. July 2014

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